높이나 깊이를 측정할 때는 계단의 맨 위와 맨 아래에 있는 선이나 점과 같이 서로 다른 높이의 특징에 시스템을 집중한 다음 이러한 특징 사이의 거리 측정을 구성합니다. 광학 측정 시스템을 사용하여 Z축에서 자주 측정을 수행하는 경우 측정된 특징에 더 반복적으로 초점을 맞출 수 있도록 피사계 심도가 작은 고배율 대물렌즈를 사용하는 것이 좋습니다.